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FE-SEM
高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)
廠牌: JEOL
型號:JSM-7610F
 
重要規格
加速電壓:0.1kV ~ 30kV
電子光源:In-lens Schottky Field Emission Electron Gun
放大倍率:x 10 ~ x 1000k
SEI 解析度:1.0 nm(at 15kV)、 1.3 nm(at 1kV)
自動功能:對焦、像差修正、明亮、對比。
 
主要附件
EDX(化學元素定性、定量和分佈影像分析)。 
真空濺鍍鍍鉑機。

服務項目  

表面形貌檢視/ 元素分析