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TEM

儀器名稱:場發射穿透式電子顯微鏡

廠牌:JEOL

型號:JEM-2100F

 

Point image

0.23 nm

Lattice image

0.10 nm

STEM BF Lattice image

0.2 nm

Acceleration Voltage

80, 100, 120, 160, 200 kV

Emitter type

ZrO/W(100) Schottkey type

Vacuum Pressure

10-8 Pa order

Tilt Angle

(X) ± 35 deg; (Y) ± 30 deg

Solid Angle

0.13 sr (30 mm2)

Take-off Angle

25 deg

 

儀器性能:

1.具有掃描及穿透功能,可觀察材料微細組織,晶體結構及缺陷。

2.微區繞射分析(Nano Beam Diffraction),鑑定結晶材料微結構。

3.高解析(HREM),增強訊號並放大影像分析結晶材料微結構。

4.數位存取TEM/STEM影像。

5.化學元素成份定性及定量,分佈(Mapping)全能譜分析:B5~U92

 

樣品限制:

使用者需詳細說明試片材料、製作方式與溶劑種類,為減少不必要的污染,本機台對於檢驗樣品的限制如下:

1.待測樣品應該具有適當、足夠的機械強度。

2.會產生相變及蒸鍍效應低熔點的材料,請勿預約本機台。

3.電子束照射下會分解或釋出氣體之樣品,若有影響真空造成污染之虞,本單位有權拒絕受理。

4.具強磁性、磁性或易被電磁透鏡吸引的粉末型式樣品或材料,本單位有權拒絕受理。

5.未經正確處理或充分乾燥的樣品,本單位有權拒絕受理。