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ESCA 化學分析電子能譜儀

ESCA 化學分析電子能譜儀
廠牌:JEOL
型號:JPS-9030
 
 
技術規格
X-ray source: MgKα, AlKα
Monochoromattic X-ray source: AlKα
Etching ion source: Ar+, Etching area: diameter ~10 mm
 
 
樣品尺寸
1. bulk and thinfilm: diameter 6~10 mm, thickness<2 mm
2. maxium 5 samples per holder, 3 samples when auto etching
 
 
注意事項
樣品不得具有液體、粉末、毒性、輻射性或對真空腔體零件造成蝕損。
若真空未達標準將退回樣品並依工作時數付費。
進行depth profile時,sputter時間以3.5小時為限,請自行斟酌試片厚度。
 
 
檢測項目
1. XPS表面成份定性及定量分析
2. XPS縱深分析