TEM
儀器名稱:場發射穿透式電子顯微鏡
廠牌:JEOL
型號:JEM-2100F
Point image |
0.23 nm |
Lattice image |
0.10 nm |
STEM BF Lattice image |
0.2 nm |
Acceleration Voltage |
80, 100, 120, 160, 200 kV |
Emitter type |
ZrO/W(100) Schottkey type |
Vacuum Pressure |
10-8 Pa order |
Tilt Angle |
(X) ± 35 deg; (Y) ± 30 deg |
Solid Angle |
0.13 sr (30 mm2) |
Take-off Angle |
25 deg |
儀器性能:
1.具有掃描及穿透功能,可觀察材料微細組織,晶體結構及缺陷。
2.微區繞射分析(Nano Beam Diffraction),鑑定結晶材料微結構。
3.高解析(HREM),增強訊號並放大影像分析結晶材料微結構。
4.數位存取TEM/STEM影像。
5.化學元素成份定性及定量,分佈(Mapping)全能譜分析:B5~U92。
樣品限制:
使用者需詳細說明試片材料、製作方式與溶劑種類,為減少不必要的污染,本機台對於檢驗樣品的限制如下:
1.待測樣品應該具有適當、足夠的機械強度。
2.會產生相變及蒸鍍效應低熔點的材料,請勿預約本機台。
3.電子束照射下會分解或釋出氣體之樣品,若有影響真空造成污染之虞,本單位有權拒絕受理。
4.具強磁性、磁性或易被電磁透鏡吸引的粉末型式樣品或材料,本單位有權拒絕受理。
5.未經正確處理或充分乾燥的樣品,本單位有權拒絕受理。