FE-SEM
高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)
廠牌： JEOL
型號：JSM-7610F
重要規格
加速電壓：0.1kV ~ 30kV
電子光源：In-lens Schottky Field Emission Electron Gun
放大倍率：x 10 ~ x 1000k
SEI 解析度：1.0 nm（at 15kV）、 1.3 nm（at 1kV）
自動功能：對焦、像差修正、明亮、對比。
主要附件
EDS（化學元素定性、定量和分佈影像分析）
BEI
真空濺鍍Pt
服務項目
表面形貌檢視/ 元素分析