低角度X光繞射分析 XRD
廠牌:PANalytical
型號:EMPYREAN
重要規格
X-ray tube: Cu
High tension: 45 kV
Current: 40 mA
Incident beam optics: BBHD
Theta angle: -4~150 degree
2 theta: -96~150 degree
Smallest incement: 0.0001 degree
儀器功能
a)粉末繞射成份分析(PXRD)
b)低掠角薄膜成份分析(GIXRD)
c)薄膜厚度/密度分析(XRR)
d)殘餘應力分析(Residual Stress)
服務項目
低角度繞射分析
粉末繞射分析