ESCA 化學分析電子能譜儀

廠牌：JEOL

型號：JPS-9030

技術規格

X-ray source: MgKα, AlKα

Monochoromattic X-ray source: AlKα

Etching ion source: Ar+, Etching area: diameter ~10 mm

樣品尺寸

1. bulk and thinfilm: diameter 6~10 mm, thickness<2 mm

2. maxium 5 samples per holder, 3 samples when auto etching

注意事項

樣品不得具有液體、粉末、毒性、輻射性或對真空腔體零件造成蝕損。

若真空未達標準將退回樣品並依工作時數付費。

進行depth profile時，sputter時間以3.5小時為限，請自行斟酌試片厚度。

檢測項目

1. XPS表面成份定性及定量分析

2. XPS縱深分析